作为国内几乎是唯一的光刻机整机厂商，上海微电子装备(集团)股份有限公司（SMEE，下称“上海微电子”）IPO有了新动态。

近日，中信建投披露关于上海微电子首次公开发行股票并上市辅导工作进展情况报告（第十期）。

定位“赋有国家使命的市场化公司”

该份报告显示，**截至目前，上海微电子已经建立相对规范的公司治理结构和内部控制体系，但内控制度制定以及实际执行情况，与上市公司标准相比客观上仍然存在一定差距，财务规范性也仍需进一步完善。

同时，上海微电子目前募集资金投资项目方案及募集资金需求测算，尚未规划完成。**

关于下一阶段IPO辅导，报告称公司及相关中介机构将继续针对辅导中的不规范之处及仍存在的问题，研究协商，确定整改方案，指导公司加以落实，并对落实情况进行密切跟踪检查。

上海微电子系于2017年12月底与中信建投签订前述辅导协议并进行备案，彼时预计整个辅导将持续5个月，即会在2018年5月申请辅导验收。但后续辅导及IPO工作远落后于预期。

对比2017年底上海微电子备案报告中的股东名单以及最新的工商资料，可以看到期间部分股东有所变动。光大控股、兴橙资本、金石投资旗下私募基金，以及精技智能装备（南通）有限公司成为上海微电子新进股东。

其中，光大控股下属机构为上海微电子第三大股东，持股比例为12.6%。成都华西希望集团旗下的投资平台上海光微青合投资中心（有限合伙），在启动辅导后选择退出。**

同时，上海微电子法定代表人也从核心创始人贺荣明变更为干频，干频目前同时担任上海电气副董事长。

上海微电子成立于2002年3月，定位“赋有国家使命的市场化公司”。自“十五”起，先后承担了多个国家 IC 前道光刻机研制专项任务。在专项技术的辐射下，SMEE根据半导体产业、泛半导体产业和信息技术发展趋势与市场需求全面布局，开发了系列高端装备，是国内唯一具备制造多领域、多品种产线应用的高端光刻机供应商。

图：上海微电子公司官网光刻机产品系列

据上海微电子最新发布的2024年人才招聘计划介绍，公司近年营业收入复合增长率为33%，申请专利数共计3900项，获得授权2800项，研发硕博占比70%。

上海微电子产品市场优势主要体现在其后道封装光刻机领域。据上海微电子介绍，该公司先进封装光刻机在全球市场的市占率为37%，在中国大陆市场的占有率高达85%。此外，公司LED系列光刻机全球市占率55%。

今年9月，上海微电子IC光刻机中标珠海天成先进半导体科技有限公司光刻机采购，然而中标设备依然为后道光刻机。

据华金电子孙远峰团队同步发布的研究报告，光刻机为先进封装必要设备之一，相比前道光刻机用于芯片的制造，曝光工艺极其复杂，后道光刻机主要用于封装测试，实现高性能的先进封装，技术难度相对较小。

前道光刻技术方面，已可量产90nm的光刻机

值得关注的是，**在后摩尔定律时代，先进封装技术突破对芯片算力提升亦至关重要。

**根据市场调研机构Yole，先进封装市场规模将从2021年的321亿美元，增长到2027年的572亿美元，CAGR达10.11%，并预计2025年先进封装占比将接近于50%。其中在AI、HPC、HBM等应用驱动下，2.5D/3D封装近年在各封装形式中增速较快。

方正证券研报显示，2022年只有不到20%的数据中心使用2.5D封装，但在2027年这一比例将有望超过50%；3D封装将加速在HBM、CPU、GPU中的渗透。

后道封装光刻机方面，2022年2月，上海微电子推出中国第一台2.5D/3D先进封装光刻机，并且正式交付客户。

上海微电子董事长干频曾在致辞中表示，本次发运的国内首台2.5D/3D先进封装光刻机，是量产封装光刻机的一次全面升级，具有更高分辨率、更高套刻精度、更大曝光面积，将助力客户实现芯片的异构集成，以相对较低的成本实现芯片系统的性能提升。

在前道光刻技术方面，上海微电子目前已可量产90nm的光刻机。据中航证券电子团队9月发布的研报，该公司目前最先进的设备为SSA600/20步进扫描投影光刻机，采用ArF光源，4倍缩小倍率的投影物镜，高速高精的自减振六自由度工件台掩模台技术，可满足IC前道制造90nm光刻工艺要求。

上海微电子今年7月接受清华高校调研时，公司人士表示，其28nm光刻机也有望取得突破。据了解，此前外界曾流传上海微电子28nm光刻机推出时间为2021年，但类似的“小作文”几乎每年一个时间版本，新版的发布时间节点将会是在2023年底，该消息从未被公司确证。

“国内前道光刻机研发相比外国起步约晚50年左右，前道光刻机对于精度要求很高，制造难度远远高于后道光刻机等其他类型的光刻机，世界上只有少数企业可以生产。”上述公司人士表示，上海微电子在被列入名单之前就已经受到了一些限制，比如某些仿真软件很难买到，于是公司就开始尝试自己开发替代品，产品精度与技术先进的公司进行对标，直到达到他们的精度，以此来逐步降低对西方仿真软件的依赖。

上市公司合作方面：

苏大维格表示公司向上海微电子提供了光刻机用的定位光栅产品，该器件是该公司光刻机产品的重要部件。

茂莱光学半导体领域主要客户为上海微电子，公司光学器件已成功进入上海微电子的供应体系。

炬光科技为上海微电子等集成电路芯片设备集成商，提供半导体激光退火系统及核心元器件。

富创精密是全球为数不多的能够量产应用于7纳米工艺制程半导体设备的精密零部件制造商。公司此前表示，将在现有产品的基础上，逐步实现半导体设备精密零部件的国产化，助力国内半导体设备企业实现关键设备的自主可控。

金力泰此前公告，控股子公司上海金杜收到上海微电子签署的《外协件采购通用条款》，正式成为上海微电子的合格供应商。

张江高科通过全资子公司上海张江浩成创业投资有限公司，持有上海微电子11.73%股权。

阿为特半导体精密零部件样品已送达上海微电子，通过供应商标准审核，公司称为未来拓展半导体产品奠定了基础。

（文章来源：财联社）